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按照这个思路,中村进行了尝试。

结果嘛,一次成功!

这种方法的核心,是采用了低温

缓冲层(

℃左右)替代了

缓冲层。这一基于低温

缓冲层的“两步法”工艺,成为日后工业界生长

的标准工艺。

当然了,做出这步改良的理由,也是异常奇怪。中村给出的解释居然是,别人用过的方法,我不用!

这种“二”的说话方式,成永兴也用过!

不就是强词夺理嘛!

谁不会啊!

你有种!

别人对的方法,你也别用!

—————————

第四关,退火工艺。

从本质上说是一个二极管,二极管的核心结构是半导体

-

结。

-

结是由

型半导体(内部含有大量自由电子)和

型半导体(内部含有大量带正电的自由载流子——空穴)组成的界面。

而言,

型掺杂比较容易实现,但

型掺杂却十分困难。在

中经常使用的

型掺杂剂是

或者

,&#

;.&#

;&#

;&#

;

.但是掺入这些杂质后,

往往仍体现高阻特性,这意味着

型掺杂剂并没有被激活,没有起作用。

这个问题曾困惑了科学界很久,最后也是被天野浩解决的。解决方法是用低能电子束辐照方法来获得

-

这个方法的发现,天野浩也是耗时很久。他从

年起就一直在尝试,直到

年,才突然碰运气得到。

—————————

在这个步骤上,中村大侠的“二”病再此发作!

他再次推翻了前面科学家的研究成果,改为加热!

这也就是所谓退火工艺的由来。

根据中村自己的解释,他是在非常偶然情况下,得到了这个意外结果。

在重复电子束照射实验前,他不小心把工作台给加热了!于是,他就发现,在电子束辐照过程中,在样品下面加热可以获得更好的结果。

对此现象,他又继续研究,进而确认,仅仅依靠加热就可以获得

-

。而退火工艺的原理,中村大侠并没有给出合理的解释。

从此,热退火就成为了制作蓝光

的标准工艺,沿用至今。

当然了,事情是否真偶然,谁也不知道。

讲故事谁不会?

...

退火工艺的背后原理,在很久以后才被人揭示。

-

中的

会被

外延过程中引入的

钝化,形成

-

络合物。无论是低能电子辐照还是热退火,都是通过借助外部能量破坏

-

键而激活

杂质。

—————————

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